1.耐食性や耐薬品性に優れている

Y₂O₃ ＞ 99.5～99.9%

吸水率［%］：0.0
熱伝導率［W/m・K］ ：14.7（室温～1000℃）
熱膨張係数×10^-6/℃：8.4

スパッタリング・ターゲット
各種研究用ルツボ
保護管、絶縁管