1.99.9%（3N）
2.絶縁性に優れている

MgO(3N) ＞ 99.9%

吸水率［%］：0.0
三点曲げ強度［MPa］：118(3N), 127(2N)
熱伝導率［W/m・K］ ：44.4(3N), 48.2(2N)
（室温～1000℃）
熱膨張係数×10^-6/℃：14(3N), 14(2N)

スパッタリング・ターゲット